电致动聚合物驱动的无阀微泵的设计与制作

夏冬梅　庞宣明　陈晓南　李　博

摘要：提出了一种由电致动聚合物材料(DE)驱动的平面扩散／收缩管无阀微泵，通过分析扩散／收缩管的角度、长度、最小宽度等关键参数对微泵性能的影响，对无阀微泵的结构进行了设计，基于UV-LIGA工艺，将DE泵膜和SU-8泵体键合制作了无阀微泵的模型，并对DE泵膜结构进行了实验研究，确定了合理的结构形式，实现了微泵的单向泵送，在3500V、8Hz直流正弦电压的作用下，无阀微泵的流量最大，为21.2μL／min，并且结构简单、易于密封、成本低，实验结果对电致动聚合物微泵进一步的科学研究和实际应用都具有较大的促进作用。

关键词：电致动聚合物；微泵；结构设计

中图分类号：TN4文献标志码：A文章编号：0253-987X(2009)07-0092-04