一种基于Ｒａｄｏｎ变换的精密工作台微位移和转动测量方法

姜歌东　陶　涛　梅雪松　袁渊浩

精密工作台被广泛地应用于光刻机、扫描显微镜、微操作机械手等高精密设备中，是保证高精密设备运动精度的关键部件，如何实现精密工作台的多自由度运动和定位精度测量，是长期以来人们一直关心的问题，目前，常用的测量方法是激光法。