ＭＥＭＳ的增长点在哪里

崔　澎

从时尚的消费电子产品，像苹果的iPhone、任天堂的Wii，到下一代医疗设备、汽车导航、工业系统。MEMS将极大地丰富人和电子设备互动的方式。“对于半导体公司。要么选择MEMS，要么退出市场!”Maxim集团总裁Vijay Ullal在2009年旧金山的电子峰会上语出惊人，“因为，从200年前的工业革命迈出第一步开始，现代科技的演进就一直没停止。第二步是晶体管发明带来的计算革命，第三步就是传感器。”

事实上看好MEMS市场前景的大有人在，但是如何才能找到正确的增长点?Kionix市场销售副总裁Eric Eisenhut认为是惯性传感技术。惯性传感器把真实世界的复杂运动简化成简单的数字信号输入到控制器中。所以，Eric指出在汽车电子、消费电子、工业和医疗领域中，惯性传感器将无所不在。

自2012年式开始，美国和欧盟要求销售的乘用车必须配备电子车身稳定系统(ESC。Electronic Stability Control)。根据美国官方预估，ESC强制列为标配后。所避免的车辆撞击意外单在美国每年就将拯救近一万人的性命。这一强制措施必将增加汽车市场对加速计和陀螺仪的需求量。另外。诸如汽车气囊、智能头灯都会产生很大的MEMS传感器需求。

在消费电子市场，所谓的消费体验将很大程度上取决于传感器技术。笔记本、游戏控制器、数码相机、便携摄像机、MP3播放器、PND、健身器材、玩具等，所有和运动输入相关的产品都将会受到欢迎。

就在电子峰会的当天，Kionix向市场推出了最新的KXTF9三轴加速器。整合了Kionix公司单叩击/双叩击(directional Tap/Double-Tap)接口，通过嵌入在KXTF9传感器的ASIC内的算法来实现。该特性最多可以创建12种独特的轻叩命令来实现专用功能。单叩击/双叩击通过检测物体6个面(±X、±Y和±z)的任何一个面上是发生了单击，还是双击来实现响应功能(图1)。该算法使得加速器能够辨别单/双击和叩击发生在哪里。除了12C接口以外，KCTF9的特性还包括用户可编程输出数据速度、按用户定义采样速率执行的A/D转换、可选8位或12位分辨率、用户可选加速度范围(2g、4g和8g)和截止频率用户可选的数字高通滤波器。

其实，目前手机等便携产品上最亮眼的MEMS应用是微型投影机。Microvision市场销售副总裁Ian Brown在峰会上演示了名为SHOW的微型(7×20×40 mm)投影产品，可以投影出对角线12英寸至100英寸的画面，画面的分辨率达到WVGA(848×480)，支持200％的NTSC色彩。让Ian颇为自豪的是，和TI的DLP或者LCoS相比，PicoP显示引擎的动态范围更高，达到10000：1。Microvision把其中的核心技术称为PicoP显示引擎，其中最关键的器件就是双向MEMS扫描镜，它联接到两个小的弯曲(nexure)，通过纵向和水平震荡进行逐个像素的捕捉(成像)或者复制(显示)图像(图2)。