高精度步进压印机热误差的建模分析

严　乐　卢秉恒　丁玉成　刘红忠

摘要：为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差，以提高压印机的套刻对准精度，运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量，将压印机上布置的温度传感器从15个减少到6个，并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z方向热误差关系的数学模型．实验结果与模型计算结果的对比分析表明，模型的热误差预测精度在x方向可以达到89％，而在z方向可以达到93％．应用表明，该方法是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法，可避免热误差建模过程中的变量耦合问题，从而提高了模型的精确性．

关键词：压印光刻；步进压印机；热误差；温度场；建模

中图分类号：TN305文献标识码：A文章编号：0253—987X(2005)05-0526—05