材料制备工艺与设备

1. 超高真空化学气相沉积外延生长锗硅材料及其应用
2. UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计
3. 环氧塑封料产品设计对LQFP分层性能的影响
4. 多线切割机轴辊温度智能控制
5. SiC（0001）面和（000-1）面 CMP抛光对比研究
6. 激光加工中切割PZT陶瓷的时序设计

测试与测量

1. 真空探针设备工艺研究
2. 交直流薄膜耐压测试仪的研制

电子制造设备自动化研究

1. 圆盘解耦式振动料斗的机械结构设计与实验研究
2. JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统研制技术
3. 基于Copley驱动器的两个直线电机同步控制的设计
4. 斜角裁切机切边送料系统的开发与研制

设备维护与维修

1. 贝叶斯网络在半导体设备故障诊断中的应用

1. MECHATROLINK-II总线在自动BLU叠片设备中的设计和应用